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對無(wú)塵室的空氣質(zhì)量以及溫濕度控制是無(wú)塵室設計與維護的重要性，這里小編為您簡(jiǎn)單的介紹下無(wú)塵室控制的一般原理及溫濕度控制的基本要求。

1.空氣過(guò)濾原理

無(wú)塵室里的空氣是靠進(jìn)風(fēng)系統將氣流“活塞”般的擠壓進(jìn)入，氣流則是通過(guò)初效過(guò)濾器，然后再經(jīng)中效過(guò)濾器，然后經(jīng)過(guò)超高效過(guò)濾器，最后把潔凈空氣傳入無(wú)塵室，使無(wú)塵室中的空氣塵粒迅速達到相應的無(wú)塵室標準要求，并且同時(shí)把無(wú)塵室內污染排出。為了考慮節能，排出的污染空氣會(huì )經(jīng)過(guò)回風(fēng)后，再次經(jīng)過(guò)超高效過(guò)濾器而重新傳入無(wú)塵室。

2.溫濕度要求

無(wú)塵室空氣溫濕度的要求由以下綜合確定：

 (1)對人的舒適性，以人穿著(zhù)不同潔凈服的情況下充分發(fā)揮了工作效率，一般的溫度需要21OC~24OC才會(huì )比較適宜，若潔凈服的要求比較嚴，那么則20OC~22OC，波動(dòng)<1.5OC，濕度30%~70%;

 (2)工藝的要求;

 (3)經(jīng)濟性，溫濕度及相對濕度夏天越低，冬天越高，則空氣處理能耗越大。

當前微電子工廠(chǎng)無(wú)塵室對溫濕度的參數大致范圍是：溫度為24OC+/-1~2OC，要求嚴的為22OC+/-0.3~0.5OC。濕度為45%+/-5%~10%,要求嚴的為43%+/-3%。要求全年維持。